蒸汽加氧吹洗工艺是用高温汽流和氧气通入锅炉的管道和设备中，使机组在安装过程发生的污物和氧腐蚀产物从管路中排出，并在金属表面形成牢固的保护膜，是一种不用化学清洗的清洗方法。它使低价氧化铁氧化成高价氧化铁，发生以下反应：

使沉积物因组成改变而发生松动，在一定压力、温度的过热蒸汽高速通过时，沉积物会被冲刷，机械地带出系统。同时在金属表面形成牢固的钝化膜。

该工艺为我国电力部门某热工研究院的专利技术，已经在许多电厂应用，证明吹洗效果良好，成膜牢固。因为吹洗是结合锅炉启动吹管工序进行的，不需另外安排时间，而且还可以减少吹管次数，因而可以缩短开车工时3～4d。用吹洗取代酸洗工艺，对奥氏体钢不产生应力腐蚀，既节省了工时又节省了药剂费用，无废液排放，无污染环境和治理问题。所以，吹洗工艺从多方面看都能节省开支，经济效益很明显，是方便、安全、经济、可靠的技术。

吹洗工艺应控制一定的氧气浓度和过热蒸汽的压力、温度、流速，以保证处理效果。一般在常规的变压或稳压吹管的基础上，向各级过热器，再热器的汽侧同步通入氧气。氧气浓度为蒸汽量的0.03％～0.1％，过热蒸汽温度为300～550℃，吹洗速度为350～600kg/（s·m²）。其适用于主蒸汽系统（汽包→低温过热器→高温过热器→主蒸汽管段至排汽总管）及再热蒸汽系统（冷段管→低温再热器→高温再热器→再热器出口导管→临时再热器中联门至排气总管）。

使用吹洗工艺应严格按工艺要求防火、防爆、防冻，吹管系统的连接应避免存在盲肠管段。