有机磷酸酯是20世纪70年代开发的另一种有机磷酸盐缓蚀阻垢剂。其结构中含有C—O—P键，碳原子与磷原子不直接连接，而是通过氧原子相连的。因此，有机磷酸酯可以看作磷酸分子羟基中的氢原子被烃基R取代的产物。磷酸中三个羟基中的氢都可以被取代，所以可制成磷酸一酯、二酯或三酯。其结构式为：

水处理中常用的是磷酸一酯和磷酸二酯。

由于有机磷酸酯中的C—O—P键不如C—P键牢固，所以其耐氧化性能及抗水解性能都比膦酸差。特别在温度较高、碱性较强时，容易水解生成正磷酸。但比起聚磷酸盐来，水解速度要慢些，药剂用量少些，所以水解造成的危害不如聚磷酸盐大。有机磷酸酯用于循环冷却水中控制硫酸钙垢，消除硬垢，稳定锌盐和分散污泥、油垢方面有较好的效果。其阻垢机理主要是晶格畸变。在用量较大时，能在金属上形成化学吸附膜，为阳极性缓蚀剂。较有代表性的品种如下。

（1）六元醇磷酸酯 为有代表性的多元醇磷酸酯。其结构式为：

（2）聚氧乙烯基磷酸酯 在有机磷酸酯中接入几个氧乙烯基，可提高阻垢和缓蚀性能。其结构式为：

锌盐/多元醇磷酸酯/聚羧酸盐/磺化木质素是20世纪80年代开发出来的缓蚀阻垢配方。多元醇磷酸酯兼有阻垢和缓蚀作用，能稳定锌离子。磺化木质素是污垢和铁垢的有效分散剂。聚羧酸盐一般采用丙烯酸的二元或三元共聚物或其钠盐。这几种药剂联合使用时可以很好地控制循环冷却水中的硬垢和污泥，甚至可使已沉积的钙垢逐渐疏松消解。锌盐/多元醇磷酸酯/磺化木质素复合剂的商品用量一般为30～50mg/L，聚羧酸盐的商品用量一般为10～15mg/L。这种复合配方适用于结垢性水质，一般稳定指数<6.0。运行pH值一般<8.5，钙硬度<600mg/L（以CaCO₃计）。