《激光集成测量表面粗糙度和微位移的研究》PDF+DOC
作者:王世华,周肇飞,晋崇九
单位:重庆市光学机械研究所
出版:《激光杂志》1998年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGZZ801.0100
DOC编号:DOCJGZZ801.0109
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本文研究了使表面粗糙度,微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度,光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究,用同一光源,同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传感器实现了并非简单组合的集成,可为精密测试一机多功能化提供可能的手段。
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