《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC

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2. 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技......
3. 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC 微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势。...
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9. 《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC 主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ，分析了存在问题 ，指出了今后的研究重点 ，并对其未来发展作了展望 ，提出了相应的发展策略。...
10. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC MEMS是微机电系统的简称，是多种学科交叉融合的前沿高技术，是未来的主导产业之一，将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。...