作者:赵维谦,谭久彬,孙涛,车仁生 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》1999年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB1999050280 DOC编号:DOCYQXB1999050289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文介绍了利用新型微位移驱动器、位移传感器、X—Y弹性工作台等组成的定心系统。该系统利用传感器测得的信号,通过模型处理可同时获得x、y两方向的偏移分量进行偏心调整。准确度分析和实验表明:在200×200μm的调整范围内,该系统驱动分辨力优于0.022μm,定心准确度优于0.05μm,定心稳定性优于0.015μm/10min

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