《一种非接触测微新技术初探》PDF+DOC
作者:孔健,万德安
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1999年第11期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1999110040
DOC编号:DOCYBJS1999110049
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以像散法的测微原理为依据,对CD光学头的检测系统进行研究改造,构建了一维测微系统。获得0-07μm 的测量分辨率,100kHz 的频率响应。同时具有体积小,成本低等优点。具有广阔的应用前景。
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