《振镜结构对精度和速度的影响》PDF+DOC
作者:许亚平,陶霞虹
单位:上海市激光研究所
出版:《应用激光》1998年第04期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYYJG1998040080
DOC编号:DOCYYJG1998040089
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从振镜的本体结构,使用材料和电容位置传感器三方面来讨论了对其精度和速度的影响
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