作者：John R.Vig,高国龙 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》1999年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI1999030040 DOC编号：DOCHWAI1999030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 石英晶体共振器的共振频率对温度是敏感的。过去，用单个微型石英共振器制作的温度计，由于利用这种灵敏度，已能准确探测μK级的温度变化。现在，利用半导体微制备技术，已经有可能用单片石英晶片制备出大量微共振器。业已证明，将这种微共振器的小热质量和高隔热能力、用一定数量的石英切片制作的共振器的陡频和温度特性以及石英晶体振荡器的低噪声特性相结合，可以生产出高性能的红外敏感器和敏感器列阵。在微共振器敏感器中，因红外能量的吸收而产生的温度变化会导致频率变化。这种频率变化可以相当于该共振器的小于1个μK的温度变化的分辨率测得。计算结果表明，200MHz-1GHz范围的微共振器列阵，可以为制作噪声等效温差NETD&lt；0.01K的非致冷型红外成像系统提供基础。本文讨论了制作这种微共振器列阵所需克服的设计和制备问题。

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