《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC
作者:黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇
单位:中国电子学会;中国信息产业商会
出版:《电子商务》1999年第10期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZKJ1999100110
DOC编号:DOCDZKJ1999100119
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主要介绍 MEMS 计算机辅助设计(CAD) 的研究内容和发展,以及和 MEMS CAD 有关的MEMS 标准化制造技术的发展情况。
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