作者:刘昆,王洪业 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1996年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1996030000 DOC编号:DOCCGJS1996030009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 针对薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置方式,导出了平膜片式薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实用计算公式,分析了膜片的厚径比、薄膜应变片在膜片上的布置方式和位置对传感器的线性度与灵敏度的影响.给出了部分研制的薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实测结果与理论计算结果的比较。

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