作者：杨拥军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》1997年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ702.0020 DOC编号：DOCBDTQ702.0029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC2001年第10期 王长河 《电子隧道传感器的原理、现状与发展》PDF+DOC1998年第02期 龙志峰,薛实福,李庆祥 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《多功能传感器集成片》PDF+DOC1987年第06期 D.L.Polla,王大春 《基于微转换器的MEMS传感器研究平台》PDF+DOC2004年第S1期 于婷,周兆英,宋宇宁 《气敏传感器及其发展动向》PDF+DOC1997年第06期 徐毓龙,徐玉成 《惯性传感器的发展趋势》PDF+DOC1996年第10期 张福学,任宏超 《硅微机械与光纤组合式列阵传感器》PDF+DOC1995年第S1期 温志渝,钟先信,孙晓松,黄友恕 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第04期 范树新,耿振亚,聂丽梅 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC2013年第07期 齐向前

    • 说明了微机械电子隧道传感器的工作原理，分析了电子隧道传感器的优点。较系统地介绍了几种典型的微机械电子隧道传感器包括微机械电子隧道加速度计、红外探测器和磁强计等，并简要介绍了国际上在这个领域的研究机构

    📙 相关资料

    1. 《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC 本文论述了MEMS的研究进展、设计思想、主要加工技术及应用前景...
    2. 《电子隧道传感器的原理、现状与发展》PDF+DOC 电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计，红外探测器，磁强计，触觉传感器，这些传感器小巧且性能优异。本文介绍了电子隧道原理，对电子隧道传感器的......
    3. 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC 微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础，目前它已渗透到传统的传感器领域，高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构，而且可以做成三维...
    4. 《多功能传感器集成片》PDF+DOC 介绍一种能同时测量物理量和化学量的多功能传感器集成片.该多功能片的尺寸为8&#215；9mm，它包括用于信号调节、阵列存取和输出缓冲的一般的MOS器件以及如下的片上传感器：气体流量传感量，红外敏感阵列，化学反应传感器，悬臂梁加速度计，SAW蒸汽传感器，触觉传感器阵列和红外电荷耦合器成象器.该......
    5. 《基于微转换器的MEMS传感器研究平台》PDF+DOC 提出一种基于微转换器(Micro-Converter)的MEMS传感器组合研究平台。该平台以美国模拟器件公司(ADI)生产的新一代高性能微处理器——微转换器ADμC832为核心器件，将外围的多路MEMS传感器信号进行高质量的模、数转换，传感器由正交安装的3轴MEMS加速度计、3轴MEMS磁强计组成。......
    6. 《气敏传感器及其发展动向》PDF+DOC 着重介绍气敏传感器研究开发的主要方向———微机械气敏传感器和电子鼻...
    7. 《惯性传感器的发展趋势》PDF+DOC 概述惯性传感器的主要发展趋势─—固态化、微型化和低成本民用化。...
    8. 《硅微机械与光纤组合式列阵传感器》PDF+DOC 本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。...
    9. 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC 介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理，分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。...
    10. 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC 作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术，微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性，受到了社会的普遍关注和重视，包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此，本文对微机械加工技术及其在传感器中的应用问题进行了研究，希望通过本文的工作为这一技术的应用提供一......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。