作者:李庆祥,徐毓娴,薛实福,刘永生 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB6S1.0400 DOC编号:DOCYQXB6S1.0409 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文介绍了力传感器微机械加工工艺路线,对KOH腐蚀硅的硅膜厚度控制进行了实验研究,以SIO2为掩膜,SF6刻蚀硅,实现了悬臂梁探针一次成形,并用湿法腐蚀对探针进行初步锐化,针尖半径约50nm。

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