作者：温志渝,费龙,胡松,钟先信 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1996年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM601.0040 DOC编号：DOCGXJM601.0049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《集成硅微机械光压力传感器的研制工艺》PDF+DOC1996年第S1期 温志渝,钟先信,费龙,胡松 《集成硅微机械光压力传感器》PDF+DOC1995年第03期 温志渝,费龙 《利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究》PDF+DOC1995年第S1期 王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚 《集成光学器件及应用》PDF+DOC1994年第03期 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微机械技术正面临新突破(一)》PDF+DOC1993年第06期 鲍敏杭 《大跨连续刚构桥预应力束孔道摩阻测试研究》PDF+DOC2010年第04期 梁南平,程伟,童代伟 《无电极型工频电场传感器的设计》PDF+DOC2008年第31期 牛犇,曾嵘,李欢,王博 《声传感器系统在智能微小型机器人中的应用》PDF+DOC2008年第04期 张文栓,刘丹,江金龙,江丽,罗晓松 《FADS压力传感器延迟补偿》PDF+DOC2008年第06期 李清东,张孝功,任章

    • 介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．

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