作者:李昕欣,郎海宁,庞世信 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《半导体技术》1997年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTJ703.0050 DOC编号:DOCBDTJ703.0059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺,使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究,提出以微分输出信号作为检测信号的方式,从而实现了在3秒钟内响应输出的高敏感速度,并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。最后介绍了利用该传感器和微分检测电路构成的工业氯气报警系统

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