作者:王洪业 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1997年第11期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS711.0030 DOC编号:DOCYBJS711.0039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了基于离子束溅射工艺,生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点,提供实例及若干关键数据

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