作者:李均 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》1996年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS1996020110 DOC编号:DOCIKJS1996020119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍一种微机精密孔径测量系统的测量原理、数字电容式传感器的工作原理、系统的测量方法和标定方法等。孔径的测量精度优于1μm。

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