作者：蔚文平 单位：北京航空精密机械研究所 出版：《航空精密制造技术》1997年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHJZJ1997050150 DOC编号：DOCHJZJ1997050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 叙述运用四测头进行在线测量，采用最小二乘逐次两点法将工件形状误差和导轨运动副误差分离出来，采用电致伸缩陶瓷元件设计了一套补偿用微量位移装置，根据分离出来的导轨运动副误差，由FAGOR8025M控制器产生控制电压控制砂轮进给的位移量，进行在线补偿加工。分离平面度重复精度优于4％，微量进给装置的位移分辨率可达0.01μm。

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