作者:朱居木,林理彬 单位:四川大学 出版:《四川大学学报(自然科学版)》1997年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSCDX702.0090 DOC编号:DOCSCDX702.0099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过理论分析提出了一种在Si(001)/α-Al2O3(11-02)SOS膜上,标定出Si[110]方向的方法,并在实验中得到验证.该法便于精确控制和检测制作薄膜的外延方向,为制作性能优异的SOS膜压力传感器提供了可靠的质量保证

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