作者： 单位：863机器人技术主题专家组;北方科技信息研究所 出版：《机器人技术与应用》1997年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJIQI1997060010 DOC编号：DOCJIQI1997060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 概述 1.自从美国加州大学贝克利分校于1987年首次研制成功Φ60～120μm的静电型微马达以后，近年来的微机械研究(在美国称为MEMS)仍趋上升趋势。据统计，美国国家科学基金会从1988年起开始资助MEMS的基础研究，每年投入200～300万美元，国防部从1992年起拨款支

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