作者： 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1997年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1997090130 DOC编号：DOCGJDX1997090139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 《Optical Engineering》Vol.36，No.1—3，1997主要文章摘要1.用于极紫外波段的化学蒸镀光学膜SiC反射镜(No.1，1997)光学镀膜和材料技术的进展提高了工作在极紫外波段的仪器效率。化学蒸镀SiC反射镜使正入射光学仪器的波长降到60nm。用化学蒸镀SiC的方法，容易抛光成超光滑表面。由于超光滑表面具有很低的散射率，很高的反射率和良好的机械和热特性，因此，此种材料和镀膜方法在极紫外波段应用中受到关注。本文对SiC硅反射镜在极紫外波段性能、强度及问题作了详细论述。

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