作者:章佩娴,姚杰 单位:中山大学 出版:《中山大学学报(自然科学版)》1997年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZSDZ703.0120 DOC编号:DOCZSDZ703.0129 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过控制金上电极的表面结构,高分子电容式湿度传感器的湿敏特性得到了改善.找到离子溅射这种最佳工艺及金上电极的最佳厚度—14nm.还显示了金上电极的厚度与湿度传感器的特性之间的关系

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