作者：Ying Xu,P.D.Atherton,M.McConnell,T.R.Hicks,雍玲 单位：国防科学技术大学科研部 出版：《国防科技》1997年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGFCK1997030230 DOC编号：DOCGFCK1997030239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 最近，Queensgate仪器有限公司研制出一系列超精定位机械，它们将Queensgate的压电及纳米级传感器技术融合为具有亚纳米级定位精度能力的多轴定位控制器。在这篇论文中，将介绍和讨论在这些机械的研制中所用到的一些技术，以解释如何获得纳米或亚纳米级水平的计量能力。

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