作者：吕红浪,刘文利,李建明,裘南畹 单位：山东大学 出版：《山东大学学报(工学版)》1996年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDGY604.0040 DOC编号：DOCSDGY604.0049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度、掺杂量等进行了研究，并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计；介绍了所研制的器件的一些性能．

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