作者:李志坚 单位:中国电子学会;中国信息产业商会 出版:《电子商务》1997年第01期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZKJ701.0000 DOC编号:DOCDZKJ701.0009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文对MEMS技术的发展概况进行介绍,对涉及的科学技术问题进行讨论,并扼要论述其重要意义

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