《一种SAW气体传感器的设计考虑》PDF+DOC
作者:秦树基
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1994年第01期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1994010050
DOC编号:DOCCGQJ1994010059
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声表面波气体传感器的最终成功既取决于化学界面膜的性能,也取决于声表面波器件设计的最佳化。给出了声表面波气体传感器的设计考虑。
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