作者:赵世勇,刘俊福,张为灿,淳于宝珠 单位:中国仪器仪表学会 出版:《化学传感器》1996年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXCH1996010060 DOC编号:DOCHXCH1996010069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文在小瓷管上用MOCVD技术沉积SnO_2气敏薄膜,研究了Pd、Th掺杂对该SnO_2元件气敏性能的影响。掺杂Pd使元件对乙醇、汽油的灵敏度均增大,而掺杂Th则仅提高了对乙醇的灵敏度,对汽油的灵敏度反有所降低。因此有希望开发为不受汽油干扰的乙醇敏感元件。

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