作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1995年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1995080040 DOC编号：DOCCGSJ1995080049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅传感器的开发是从电子工业中分离出来的。1950年，对于硅片电子特性的深入研究导致了几种硅效应的发现，为传感器的开发提供了一个极好的发展方向。第一个硅传感器是在六十年代出于商业目的而开发的。在随后的十年中，随着越来越多的制造商研制并改进了大量的新老产品，硅传感器

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