作者：牛蒙年,丁辛芳,童勤义 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1994年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1994030000 DOC编号：DOCCGQJ1994030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况，包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。

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