作者：张传忠 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1994年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG401.0120 DOC编号：DOCYDSG401.0129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用于汽车的硅压力和加速度传感器张传忠许多压力和加速度传感器都是以硅微电子学技术为基础的。由于硅传感器可作为敏感元件与表面电路集成在同一基片上，所以硅压力传感器广泛地用来检测歧管绝对压力。与普通的应变现传感器相比，硅的机械和弹性特性要好得多。它作为一种..。

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