作者：薛实福,刘永生,李庆祥,高宏,于水 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1995年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM502.0080 DOC编号：DOCGXJM502.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（ｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频率测试系统与方法。

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