作者： 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994050150 DOC编号：DOCYBJS1994050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用与标准集成电路工艺相兼容的技术来制作微型传感器是近来所能达到的，这将有助于将传感器、执行器的元件部分与接口电路集成为一体，来形成微系统。如加速度计、谐振传感器和化学传感器等发展的例子都可以证明这一点。

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