作者：蒋晓波 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1994年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1994060050 DOC编号：DOCYBJS1994060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文所述的新结构的硅一体化双岛压力传感器与传统的双岛压力传感器相比具有温度特性好、工艺简单等优点，对过载保护后传感器输出特性的饱和，给出了一个新的解释。

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