作者：袁凤 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1995年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL502.0120 DOC编号：DOCXDJL502.0129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 新型二维电容位置传感器ＭＨｗ。Ｂｏｎｓｅ等１．前盲目前，人们对二维（ＺＤ）位置测量越来越感兴趣。尤其是在ＩＣ生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今，基本的线性位置测量系统主要基于光栅或激光干涉方法，用这些系统可以达到此目的。这些系统在一些应用中也存..。

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