作者:彭士元 单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版:《仪器仪表与分析监测》1995年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQYB1995030050 DOC编号:DOCYQYB1995030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 多晶半导体Ga_2O_3薄膜代表着一种有前途的新型的传感器基础材料,工作温度高于650℃,常用于探测还原气体。传感器的信号是由Ga_2O_3薄膜电导率的变化来提供。本文报导了在惰性气体中存在两种组分的还原气体混合物时的基本研究情况。针对H_2和CO来说,在一定的传感器温度下,长期稳定的Ga_2O_3薄膜的电导率与还原气体的分压关系是遵守G~Pr.g~.(1/3)的规律的。

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