作者：于梅芳 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1995年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1995010080 DOC编号：DOCCGJS1995010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文较系统地介绍了与硅微电子技术相兼容的传感器和执行器微细加工技术，文中给出的异向腐蚀、键合、双面光刻和电解放电加工方法与装置在微小器件制造中具有实用价值。

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