作者：刘斌,徐电,王新中,陈抗生 单位：北京真空电子技术研究所 出版：《真空电子技术》1995年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDJ505.0030 DOC编号：DOCZKDJ505.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《数字式石英晶振真空计》PDF+DOC2001年第04期 齐本胜,凌明芳,王华萍 《DL-10型石英真空计的性能》PDF+DOC2010年第04期 王逊,张云峰,唐镇松 《DL-10A型石英真空计》PDF+DOC2014年第04期 王逊,张云峰,唐镇松 《石英晶振真空测量计》PDF+DOC2009年第10期 李学锋,周佳伟,王森 《基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器》PDF+DOC2016年第10期 徐军,孙国东,余耀,王禹,马静 《压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望》PDF+DOC2020年第08期 宋国庆,邹向光,王万生,邵志强,王伟 《音叉式石英晶体微差压传感器》PDF+DOC2000年第06期 朱玉江,刘振善,张光照 《液体介质石英晶体谐振传感器》PDF+DOC1995年第05期 张超,冯冠平,隋森芳 《石英晶体谐振式绝对压力传感器研制》PDF+DOC2008年第01期 潘安宝,闻化,姚东媛,高成臣,谢树海 《MEMS真空封装的真空度测量》PDF+DOC2007年第10期 石雄,朱光喜,甘志银,刘胜

    • 本文研究了音叉型石英晶体谐振器的谐振阻抗与周围气压的关系，设计了一种全新的自稳幅自跟踪晶体振荡电路和精密动态阻抗测试电路，以测量石英晶振的谐振阻抗。实验测得，当晶振周围气体压强从１０－２Ｐａ上升到大气压时其谐振阻抗相对变化也几乎以相同数量级单调增加，阻抗随气压变化关系与理论分析和国外文献报道一致。利用石英晶振的气压敏感性，本文研制了一种新型的石英晶体真空计，量程从０．１Ｐａ到２&#215；１０５Ｐａ，全量程内无须进行量程切换，各点测量误差小于１２％。

    📙 相关资料

    1. 《数字式石英晶振真空计》PDF+DOC 文中介绍一种新型数字式能测量粗中真空度的真空计和传感器的硬件设计。...
    2. 《DL-10型石英真空计的性能》PDF+DOC 本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果，它用Φ2&#215；6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10～105 Pa，误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。...
    3. 《DL-10A型石英真空计》PDF+DOC DL-10A型石英真空计，测量范围为5&#215；10-1～105 Pa。石英真空计的特点是传感器的体积小，这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外，它能测量小体积，例如1 cm3大小的密封器件的气体压强，并能检测真空的保持状态。...
    4. 《石英晶振真空测量计》PDF+DOC 本文提出了以晶振作为传感器对封装腔体内部真空度进行测量的方法，并设计了一套基于晶振传感的真空度测量系统。该系统根据音叉型石英晶振谐振时阻抗与周围压强的关系制作而成。将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中，采用直接数字频率合成器(DDS)作为信号源激励石英晶振，利用相位幅度比较电路......
    5. 《基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器》PDF+DOC 采用石英晶体热敏新切型(ZY切型)和音叉结构，设计了一种工作于弯曲振动模式，输出为频率信号的数字温度传感器。针对温度传感器的要求，对石英晶体双旋切角的频率温度特性和机电耦合系数进行分析，确定热敏切型，使其具有较高的频率温度系数和机电耦合系数。对石英音叉结构和振动模式进行有限元仿真分析，优化传感器结构......
    6. 《压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望》PDF+DOC 评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状，并根据目前某些关键技术的突破，梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研，对PRVS的发展趋势进行了初步预测。...
    7. 《音叉式石英晶体微差压传感器》PDF+DOC 简要介绍了一种测量范围为－２０～２００Ｐａ，准确度为０．１％ＦＳ，工作温度为－５０～８５℃的音叉式石英晶体微差压传感器的设计和制作原理。和其它形式的微差压传感器比较，它具有灵敏度高，稳定性好，输出频率信号等特点，广泛用于差压、流量等参数测量。...
    8. 《液体介质石英晶体谐振传感器》PDF+DOC 报导一种可以在液体介质中稳定振荡的石英晶体传感器，介绍其原理、探头结构以及振荡电路，并给出有关实验结果．...
    9. 《石英晶体谐振式绝对压力传感器研制》PDF+DOC 介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制，采用石英晶体材料制做弹性膜片，用音叉式石英力敏谐振器检测压力，减少了传感器的体积，降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa，中心频率为(40&#177；4)kHz，精度为0.05%。...
    10. 《MEMS真空封装的真空度测量》PDF+DOC 本文将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中，采用直接数字频率合成器(DDS)作为信号源激励石英晶振，利用相位幅度比较电路比较石英晶体两端信号的相位和幅度并输出相应的电压信号，经过A/D转换后送至单片机，经过处理和标定后用于测量和监控MEMS封装内部的真空度。运用该方法测试发现ME......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。