《用浸渍法制造添加Pt的SnO_(2-x)薄膜气体传感器特性》PDF+DOC
作者:彭士元
单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司
出版:《仪器仪表与分析监测》1995年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQYB1995010100
DOC编号:DOCYQYB1995010109
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《用浸渍法制造的添加Pt的SnO_(2-x)薄膜气体传感器特性》PDF+DOC 彭士元
,刘德启
,黄钢
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本文研究了含有添加铂的SnO_(2-x)薄膜。SnO(2-x)薄膜是由反应电子来蒸发的烧结SnO_(2-x)粉末而制成。沉积薄膜浸渍于H_2PtCl_6·;6H_2O水溶液中并加热。用电子分光仪进行化学分析,研究表面结构和膜的成分,用俄歇电子分光仪和X-射线衍射仪研究薄膜的电性能和Pt添加剂的效应,也研究了气体感器的特性。
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