作者：姚景顺,毕文平,钟生新 单位：上海市电子学会;上海市通信学会 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJS501.0070 DOC编号：DOCDZJS501.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对于厚度为１０—１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。

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