作者:李蓉萍,丁铁柱 单位:内蒙古大学 出版:《内蒙古大学学报(自然科学版)》1994年第05期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNMGX405.0090 DOC编号:DOCNMGX405.0099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 用电子束蒸发的方法制备了ZrO_2、TiO_2及其按不同配比混合和掺杂的各种薄膜。对薄膜的结构和氧敏特性进行了研究,同时还研究了预烧结、掺杂等对薄膜氧敏特性的影响。实验表明,薄膜对氧气有良好的选择性和灵敏度

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