作者:何清义,黄友恕,吕果林,朱维安 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》1995年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG503.0110 DOC编号:DOCBDTG503.0119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 从自扫描光电二极管列阵(SSPA)的工作原理出发,提出采用外延、离子注入、推阱的技术,研究一种新颖的高响应度的PIN结构的SSPA器件,详细的分析了工艺设计方案和实验方法,最后提供了样品的测试参数。

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