作者：朱明旗 单位：机械工业信息研究院;中国机械装备(集团)公司;中国机械设备进出口公司 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDGJ1995080050 DOC编号：DOCJDGJ1995080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子机械作为一门新兴学科，正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节，正由科学家们的智慧与力量逐步成为现实。美国加尼福利亚大学勃克兰分校采用硅制成转子为150微米的微型电机，以此为标志，形成了微电子机械学这门新学科。当然，在此前相当长的一段时间里，人类对微电子机械加工的研究已颇费心力。

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