《高精度小型氧浓度传感器》PDF+DOC
作者:张应焞,韩美
单位:光明化工研究设计院
出版:《低温与特气》1993年第04期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDWTQ1993040070
DOC编号:DOCDWTQ1993040079
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日本富士通研究所开发了一种测定氧浓度的高精度小型传感器。该传感器是将薄的硅和玻璃粘结在一起后在其中注入电解液。即使氧浓度低,也可比以往更准确地进行检测。新开发的传感器长15mm、宽2mm、厚0.9mm。为了在贴有金和银的薄电极的玻璃(厚0.5mm)上充满电解液(氯化钾),将挖有沟的硅(厚0.4mm)贴在一起,再用透气薄膜覆盖在硅的上面。
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