作者：孙良彦,刘正绣,吴家琨,全宝富 单位：郑州轻工业大学 出版：《轻工学报》1994年第S1期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZQB4S1.0400 DOC编号：DOCZZQB4S1.0409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 表面修饰技术是一种利用物理和化学的方法对气敏元件的表面进行改性的方法，具体地说，它又可分为以下３种方法：１）表面掺杂法，即把贵金属及金属氧化物掺在氧化物气敏半导体表面上的方法（共混，共沉淀，浸渍，喷涂分解和物理吸附等）；２）表面处理法，即将已完成的气敏元件，放入各种气氛中进行处理的方法；３）表面催化层法，即在元件表面上，涂上一种催化层，以除去干扰气体并把非活性气体进行分解的方法，近几年我们通过表面掺杂法，对ＳｎＯ２，ＺｎＯ，ＮｉＯ，ＷＯ３等敏感材料进行掺杂，获得了Ｈ２，Ｈ２Ｓ，Ｏ２，ＮＯ２，Ｃ２Ｈ５ＯＨ和ＣＨ４等高灵敏度、高选择性气体传感器．通过制作掺Ｐｄ，Ｇａ２Ｏ３等催化活性层、防止了Ｃ２Ｈ５ＯＨ等气体的干扰，研制出高选择性ＣＨ４元件并使其实用化．利用表面处理法在开发Ｈ２Ｓ元件，Ｃ２Ｈ５ＯＨ元件方面也取得了良好效果．

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