作者：钱俞寿,陈国平,王平 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1991年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1991010090 DOC编号：DOCCGJS1991010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄膜压力传感器研究》PDF+DOC1989年第06期 王志新,赵阳 《电容式薄膜真空压力传感器设计》PDF+DOC2017年第03期 王凡,崔宏敏,宗义仲,王文博 《硅压力传感器研究现状》PDF+DOC1999年第06期 王丰 《平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC1996年第03期 刘昆,王洪业 《平膜片式压力传感器的非线性及其改善方法》PDF+DOC1993年第01期 阮米芳 《膜片式气体压力传感器的研究》PDF+DOC1982年第10期 孟繁英,陈丽华 《薄膜压力传感器新技术》PDF+DOC1984年第02期 H.Pirot,孙耀斌 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC2011年第06期 黄林静,朱目成 《牺牲层结构压力传感器技术》PDF+DOC2009年第05期 揣荣岩,郑雁公,刘本伟,王文东,崔林,李新 《传感器》PDF+DOC1995年第03期

    • 薄膜压阻传感器具有很多优点，尤其是它省去了一般应变片的胶贴工艺，由此引起的一系列缺点也就随之消失。它的蠕变极小，是一种很有前途的高精度压力传感器。近年来由于薄膜技术发展的推动，使这种五十年代就提出的传感器得到了迅速发展。本文将介绍我们自1988年以来所做的一些工作及其初步结果。

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