作者:胡兴定,陈俊,张通和,张文朴 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1995年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS1995060040 DOC编号:DOCYBJS1995060049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较,溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高,长期稳定,对其它气体选择性好,而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质,表明材料组织结构相同,与基片附着性好,组织致密。

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