作者：张兆龙 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》1993年第12期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS1993120150 DOC编号：DOCGJJS1993120159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 压电晶体广泛用作线性传感器，尤其在扫描隧道显微镜(STM)中，X、Y、Z 三个方向均采用压电晶体，但压电晶体的滞后、爬行等非线性会引起表面图像失真。为解决这个问题，日本Nikon 公司采用串入电容的办法来减小非线性的影响。

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