作者：A.W.Van Herwaarden,黄玢 单位：东北大学 出版：《控制工程》1993年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJZDF1993010050 DOC编号：DOCJZDF1993010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用，重点阐述热敏传感器微结构的设计，其次讨论基于热效应的各种敏感原理，最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。

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