作者：刘镇清 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1992年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1992030000 DOC编号：DOCYDSG1992030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 声表面波(SAW)器件的工作频率随基片表面上的负载质量变化而发生漂移，通常利用这一性质作气相分析与检测，已经有了若干用SAW延迟线器件制成的化学传感器。传感器表面涂着一层有化学选择性的薄膜，这一涂层则在化学分析时有选择地吸收待测气体分子，涂层在吸收了气体后发生一些物理变化，因而这种传感器的灵敏度与SAW延迟线表面上的涂层对气体的吸收量有关。许多实际使用的传感器是用双SAW延迟线组成的，它们集成在一片基体上，并在一个延迟线表面上涂上气体吸附薄膜，而另一个则不涂任何物质。 本文讨论了这种传感器的若干问题，如温度影响、响应时间以及频率变化与气体浓度间关系的非线性。最后提出了在传感器应用时的改进方法与措施。

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