作者：何野,曹国祥,王元明 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1990年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ1990040000 DOC编号：DOCGTDZ1990040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《半导体微传感器的初级数值模型库》PDF+DOC1991年第04期 何野,孙敏 《传感器》PDF+DOC1999年第06期 《电容式两相流流型传感器敏感场仿真及传感器参数分析优化》PDF+DOC1999年第01期 邢惠春,王桂珠,梁冰 《传感器的数值分析》PDF+DOC1990年第03期 徐启华 《ANSYS在接触式电容压力传感器非线性分析中的应用》PDF+DOC2002年第03期 卞剑涛,颜黄苹,冯勇建,王亚强 《MEMS发展应用现状》PDF+DOC2011年第22期 王多 《物联网感知层传感技术解析及应用》PDF+DOC2011年第03期 林勇,谭清中,唐彦 《预富集装置在QCM传感器检测芥子气中的运用》PDF+DOC2007年第08期 李帆,左伯莉,王学峰,张天,陈传治 《基于Ansys和SVM的车载称重模块设计》PDF+DOC2015年第09期 刘岩,王金东,郭建华,胡清明 《采用微传感器的黏/密度实验系统及其性能测试》PDF+DOC2014年第03期 宋渤,徐龙起,张桂铭,赵立波,王晓坡,刘志刚

    • 本文以泊松方程和电流连续性方程作为基本方程，并考虑各种物理效应，归纳了几种半导体微传感器的数值模型，提出应用广义Galerkin方法进行微传感器的数值模拟.初步的数值试验表明，广义Galerkin方法可用于微传感器的数值模拟，并具有一定的优越性。

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