作者：骆如枋,罗桂昌,陆玉萍,严荣华 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1990年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1990030040 DOC编号：DOCCGJS1990030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Si—MOS电容式湿度传感器是利用IC技术制作的微型绝对湿度传感器，它体积小、灵敏度高、化学稳定性好，特别适用于IC及微电子器件气密封装内的湿度检测和永久性气体中微量水份的连续监测.文章叙述了传感器的结构、原理、性能及有关应用，并对其灵敏度、响应速度及贮存等问题进行了讨论。

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